HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的必要性：在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中，光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個(gè)工藝環(huán)節(jié)，涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量，涂膠工藝顯得更為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的，而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的，這造成光刻膠和硅片的黏合性較差，尤其是正膠，顯影時(shí)顯影液會(huì)侵入光刻膠和硅片的連接處，容易造成漂條、浮膠等，導(dǎo)致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗，同時(shí)濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到硅片表面后，經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷涫杷珊芎玫嘏c光刻膠結(jié)合，起著偶聯(lián)劑的作用。雙門精密送風(fēng)循環(huán)烤箱。太倉(cāng)熱風(fēng)循環(huán)工業(yè)烤箱生產(chǎn)廠家

600度高溫回火爐技術(shù)規(guī)格書(shū)一、設(shè)備名稱：HOTTSP-HT600度高溫回火爐二、設(shè)備型號(hào)：HOTTSP-HT600三、設(shè)備型號(hào)定義：HOTTSP-昆山臺(tái)上品工業(yè)自動(dòng)化有限公司簡(jiǎn)稱；600—整機(jī)最高溫度600度；HT—H表示高溫設(shè)備；T表示非標(biāo)設(shè)備。四、設(shè)備用途：五金件、電子零件、精密零部件產(chǎn)品前后的熱間加工。五、溫度要求：5．1熱間有效范圍內(nèi)，溫控的控制精度正負(fù)5度，均溫性2%。5．2正常使用500度，比較大溫度600度。六、設(shè)備能力:溫度到計(jì)時(shí)，時(shí)間到報(bào)警。（后改為程式表，并增加了電壓表）七、設(shè)備工作原理及組成描述：7.1工作原理：運(yùn)用大功率加熱器將空氣加熱，升溫到設(shè)定溫度后自動(dòng)保溫計(jì)時(shí)，時(shí)間到報(bào)警提示。7.2設(shè)備組成：HOTTSP-HT600高溫回火爐一臺(tái)。八、工藝流程8.1加熱流程1上料→2關(guān)門密封→3加熱升溫→4溫度到計(jì)時(shí)保溫→5保溫時(shí)間到報(bào)警→6斷電降溫→7開(kāi)門下料虎丘區(qū)性價(jià)比高工業(yè)烤箱生產(chǎn)廠家精密雙室雙控送風(fēng)烤箱。

真空烘箱規(guī)格書(shū)一、箱體結(jié)構(gòu)尺寸1.內(nèi)尺寸（W*D*H）mm：550mm×(300×3)mm×430mm（W×H×D）2.外尺寸（W*D*H）mm：按實(shí)物3.控制器：位于機(jī)臺(tái)右側(cè)4.門：由左邊往右邊開(kāi)5.內(nèi)膽材質(zhì)：質(zhì)量不銹鋼SUS304#3.0T板6.外箱材質(zhì)：鋼板粉體靜電烤漆1.2T，涂裝采用酸洗脫脂與皮膜處理與采高黏著力液體噴涂7.保溫材質(zhì)：采用質(zhì)量高溫耐熱巖棉（最高耐溫700℃）,保溫性能佳，節(jié)能省電，環(huán)保無(wú)污染8.爐門保溫材質(zhì)：高溫耐熱巖棉（最高耐溫700℃），配備硅膠門條，有效防止熱量流失，保持溫度平穩(wěn)，節(jié)能效果佳9.分層：分3層，3個(gè)不銹鋼烤盤10.門口裝不銹鋼方鋼框20T*W30

對(duì)施工的各專業(yè)人員進(jìn)行資質(zhì)審查，凡從事特種工作的操作人員須持證上崗。3.6、物資控制對(duì)進(jìn)入現(xiàn)場(chǎng)的原材料、半成品、零部件等物資品質(zhì)的控制要求，並由責(zé)任部門和責(zé)任者對(duì)物資的品質(zhì)控制進(jìn)行監(jiān)督檢查，認(rèn)真做好檢查記錄，建立物資控制機(jī)制。3.7、工序控制對(duì)關(guān)鍵部位和薄弱環(huán)節(jié)設(shè)置控制點(diǎn)，並實(shí)施具體的控制措施和辦法。施工過(guò)程中嚴(yán)格“三檢”制度，開(kāi)展QC小組活動(dòng)，做到“誰(shuí)施工，誰(shuí)負(fù)責(zé)”，“上道工序不合格不得轉(zhuǎn)入下道工序”。3.8、品質(zhì)檢驗(yàn)及不合格產(chǎn)品的控制嚴(yán)格按照品質(zhì)檢驗(yàn)規(guī)章制度，實(shí)行崗位責(zé)任制對(duì)不合格產(chǎn)品堅(jiān)決返工，獎(jiǎng)優(yōu)罰劣。3.9、核對(duì)總和試驗(yàn)控制（1）對(duì)工程中的材料、半成品、零部件等必須做到件件檢查，件件合格才能使用。（2）施工品質(zhì)嚴(yán)格按合同規(guī)定的品質(zhì)檢驗(yàn)評(píng)定標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行施工、檢查、評(píng)定。3.10、加強(qiáng)內(nèi)部的技術(shù)管理（1）圖紙會(huì)審。開(kāi)工前，由技術(shù)部門組織專業(yè)人員對(duì)該工程和施工圖進(jìn)行會(huì)審，解決施工圖紙上存在的問(wèn)題。提出詳細(xì)施工計(jì)畫、材料計(jì)畫、施工方案，並作好圖紙會(huì)審記錄。（2）技術(shù)交底。開(kāi)工前，由有關(guān)技術(shù)人員進(jìn)行施工工藝規(guī)範(fàn)，技術(shù)品質(zhì)要求書(shū)面的詳細(xì)交底。石墨烯應(yīng)用技術(shù)隧道爐。

加熱管采用質(zhì)量電加熱器加熱。空氣加熱方式1.由烘箱進(jìn)氣口進(jìn)風(fēng)至加熱器風(fēng)槽內(nèi)；2.空氣經(jīng)加熱后在烘箱內(nèi)部做循環(huán)運(yùn)風(fēng)，廢氣從排氣口排出。（外排風(fēng)管由客戶自備）控溫溫控器1.采用臺(tái)上品HOTTSP微電腦自動(dòng)演算單段溫控器，有PV與SV雙LED顯示功能；2.自帶PID自動(dòng)整定演算輸出，控制精細(xì)。超溫保護(hù)器1.采用超溫保護(hù)器；2.當(dāng)溫度超過(guò)超溫保護(hù)器設(shè)定值時(shí)，自動(dòng)切斷加熱電源。時(shí)間控制0~99.9小時(shí)可任意設(shè)定，時(shí)間到達(dá)后有報(bào)警并自動(dòng)停止加熱。加熱管控制采用SSR固態(tài)繼電器控制加熱器，節(jié)能效果佳，控溫效果更穩(wěn)定，性能更。溫度傳感器采用K型熱電偶，測(cè)溫精細(xì)。時(shí)控開(kāi)關(guān)附一個(gè)時(shí)控開(kāi)關(guān)，可設(shè)置定時(shí)開(kāi)關(guān)機(jī)。低壓電氣組件主要電器采用施耐德，日本歐姆龍中間繼電器。記錄儀配1臺(tái)國(guó)產(chǎn)6通道無(wú)紙記錄儀，有效記錄烘箱溫度。()安全和防護(hù)空氣開(kāi)關(guān)防止過(guò)流和短路電機(jī)過(guò)流保護(hù)防止電機(jī)燒毀超溫保護(hù)防止工作室溫度過(guò)高，保護(hù)產(chǎn)品接地保護(hù)結(jié)構(gòu)件安全接地保護(hù)。電源缺相相序保護(hù)配有相序保護(hù)器環(huán)境條件環(huán)境溫度-5℃-45℃相對(duì)濕度≤85%RH安裝場(chǎng)地烘箱左右后側(cè)距離墻壁不得小于600mm。周圍無(wú)強(qiáng)烈的振動(dòng)和氣流存在，不含鹽分氣體、有毒及腐蝕性氣體，沒(méi)有導(dǎo)電性塵埃。工業(yè)烤箱品牌生產(chǎn)廠家。昆山重型工業(yè)烤箱出售

圓型鐘罩燒結(jié)爐 2. 用 途 銅金屬基材熱導(dǎo)管燒結(jié)、退火熱處理用。太倉(cāng)熱風(fēng)循環(huán)工業(yè)烤箱生產(chǎn)廠家

l風(fēng)機(jī)的啟動(dòng)、停止；l電源指示，風(fēng)機(jī)及燃燒器工作狀態(tài)的指示。l風(fēng)機(jī)及加熱器的啟動(dòng)、停止。l溫度的自動(dòng)調(diào)節(jié)、顯示。l事故急停及故障狀況的指示。利用溫度感測(cè)器對(duì)溫度進(jìn)行自動(dòng)控制、顯示、上限報(bào)警。烘乾的溫度由數(shù)位式溫控儀顯示，顯示儀顯示並控制所需的溫度，還附有上限溫度報(bào)警功能。加熱器與風(fēng)機(jī)連鎖，風(fēng)機(jī)啟動(dòng)後加熱器才能啟動(dòng)；當(dāng)風(fēng)機(jī)發(fā)生故障時(shí)，加熱器不能啟動(dòng)或停止供熱；當(dāng)加熱器關(guān)閉時(shí)，風(fēng)機(jī)能工作，使烤房?jī)?nèi)達(dá)到正常溫度?？刂葡到y(tǒng)還具有以下優(yōu)點(diǎn)：l操作直觀簡(jiǎn)便，顯示。l自動(dòng)聯(lián)鎖、安全生產(chǎn)方面，考慮周全，設(shè)計(jì)嚴(yán)密。一旦某種故障發(fā)生，控制系統(tǒng)立即報(bào)警。l電氣元件選型優(yōu)良，確保整個(gè)設(shè)備長(zhǎng)期可靠運(yùn)行。電氣控制櫃：為前開(kāi)門，外殼接地，材料：鋼板、烤漆。（提高電箱的品質(zhì)規(guī)格，保證質(zhì)量。）太倉(cāng)熱風(fēng)循環(huán)工業(yè)烤箱生產(chǎn)廠家

昆山臺(tái)上品工業(yè)自動(dòng)化有限公司主要經(jīng)營(yíng)范圍是機(jī)械及行業(yè)設(shè)備，擁有一支專業(yè)技術(shù)團(tuán)隊(duì)和良好的市場(chǎng)口碑。公司自成立以來(lái)，以質(zhì)量為發(fā)展，讓匠心彌散在每個(gè)細(xì)節(jié)，公司旗下工業(yè)烤箱，鐘罩爐，推板爐，鏈條爐深受客戶的喜愛(ài)。公司注重以質(zhì)量為中心，以服務(wù)為理念，秉持誠(chéng)信為本的理念，打造機(jī)械及行業(yè)設(shè)備良好品牌。臺(tái)上品憑借創(chuàng)新的產(chǎn)品、專業(yè)的服務(wù)、眾多的成功案例積累起來(lái)的聲譽(yù)和口碑，讓企業(yè)發(fā)展再上新高。

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